Московский институт электронной техники (МИЭТ) был образован в Зеленограде в 1965 году во исполнение Постановления Совета Министров СССР от 26 ноября 1965 №1006 как одно из важнейших звеньев в системе создания отечественной электронной промышленности, призванный обеспечить эту быстроразвивающуюся отрасль высококвалифицированными специалистами в области микроэлектроники.
Организация института электронной техники в Зеленограде – городе-спутнике Москвы, центре отечественной микроэлектроники с высокой концентрацией предприятий электронной промышленности и профильных научно-исследовательских институтов позволила создать благоприятные условия для уникальной интеграции образовательной, научной и производственной деятельности. С первого учебного года МИЭТ применил в своей деятельности прогрессивные методы обучения. Сочетание глубокой фундаментальной подготовки со значительным объемом производственной практики непосредственно на предприятиях, участие большинства преподавателей в конкретных научных исследованиях, привлечение к образовательной деятельности специалистов Научного центра позволили в короткие сроки создать новые курсы, программы, учебные планы, учебники и пособия для обучения в области микроэлектроники и реализовать передачу новых знаний студентам в режиме «реального времени». Уже в 70-ые годы МИЭТ, с учетом наработанного опыта, соответствующими директивными документами был отнесен к числу ведущих вузов страны и определен в качестве головного и базового в области микроэлектроники.
В 2007 году МИЭТ определен в качестве головной организации по тематическому направлению «Наноинженерия» в федеральной целевой программе «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2010 годы». В рамках этой программы в университете в 2007г. создан научно-образовательный центр «Нанотехнологии в электронике», в 2008 г. – научно-технологический центр «Нано- и микросистемная техника». К началу 2010 г. в составе университета функционировали 3 НИИ, 5 центров коллективного пользования, 20 научно-образовательных центров, 7 центров формирования компетенций, многопрофильное производственное предприятие «Протон-МИЭТ» (ОАО), государственный научный центр - научно-производственный комплекс «Технологический центр» МИЭТ, 2 инновационных центра, центр коммерциализации и трансфера технологий, бизнес-инкубатор, научно-технологический парк.
Высокий уровень развития инновационной структуры, масштабы и содержание выполняемых комплексных инновационных проектов определили фактическое соответствие вуза основным критериям национального исследовательского университета, сформулированным Минобразования РФ. Как следствие, в апреле 2010 г. вуз стал победителем в конкурсе программ развития университетов, и распоряжением Правительства России МИЭТу присвоена категория «Национальный исследовательский университет».